涡轮分子泵优点分析
发表时间：2022-12-19
涡轮分子泵优点
1、优点
由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下，多选用涡轮分子泵。它的优点有:
(1)清洁，无油蒸汽返流
涡轮分子泵清理能超强是大众对涡轮分子泵的基本了解，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。
(2)使用方便
在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀，只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装(用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作)。这个特点，可用于安装位置受限制的地方。
(3)气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氨)的能力很强，因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氨质谱检漏仪等场合均可得到应用。
有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等
(4)适于超高真空应用
一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片泵(或同样性能的千式前级泵),其极限真空度一般可达到10- 9~10- 10Torr(即 133.3~13.33 nPa)之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵，用金属密封并除气良好的泵，一般其极限压力在110-10~110-11 Torr (即13.33~1.333 nPa)之间，而且不像低温泵或离子泵那样，涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性(测不到碳氢化合物)显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪，分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上。
(5)高压力下性能良好
有些涡轮分子泵的入口压力可在 10-1~10-3 Torr (即 13.33Pa~133.3 mPa)之间运行。在这个压力范围内，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。
(6)循环的时间短
多数涡轮分子泵，尤其小一些的，要达到正常的运行速度的时间，一般需要 1~3 min。对于不同品种和型号的泵有所不同，并且能立即关闭，并可暴露大气。这种快速循环特性在样品输入系统中很有用，尤其对手提式氨检漏仪有用。
(7)正常使用时间长
在某些应用中，涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下，会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复，而涡轮分子泵使用还能消除因泵油对真空室的污染。