氦质谱检漏仪的日常维护与保养
发表时间：2022-12-26
氦质谱检漏仪是一款进行检漏检测的设备，通过利用氦气或者氢气作示漏气体，通过以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。在工业生产实验研究过程中有着较广泛的应用。
因为氦气的本底噪声低，其分子量及粘滞系数较小，所以当设备存在漏孔时，氦气较容易通过漏孔并扩散出去。此外，由于氦系惰性气体，不会对设备产生额外腐蚀损坏，所以一般进行相关检测分析时，常用氦作示漏气体。通过将这种气体喷到接有气体分析仪，调节气体分析仪到仅对氦气反应的工作状态的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。与其他设备仪器相同，定期对氦质谱检漏仪进行保养能够较好地延长设备的使用寿命，保证设备的可靠性。
对氦质谱检漏仪保养的注意事项：
一、对氦质谱检漏仪真空系统进行保养时，由于常见氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成，因此在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到规定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏。因此，对被检件的前处理以及对设备自身的保养清理十分重要。
二、除了上述氦质谱检漏仪真空系统需要保养之外，还需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养，以及电磁阀组的超声清洗，此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护，避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。
具体注意事项：
◆工件要保持清洁、干燥。
◆对工件喷氦应按以下顺序进行：
①从上往下。
②从靠近测试口到远离测试口。
◆喷氦时应经常检查喷枪口是否有氦气喷出。
◆检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。
◆对同一工件，如有两处以上漏点，应排除大的漏点后，再对其它地方检漏。
◆装工件时应使连接处密封好，不能有漏。
◆检漏间应通风良好，避免氦气浓度增高，但应避免强通风。
◆氦气属贵重气体，应避免泄漏浪费。
◆定期更换灯丝，清洗冷规。
◆定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。
◆如加液氮，需定期清洗冷阱。
◆拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。
◆适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。